工业兴国从初级工程师开始第717章 刻掩膜版记

是的现在还在组装的的光刻机那是接触式光刻。

什么叫接触式呢？ 你们如果想听的话那我就可以水十多章了…… 啥？不想听？ 不行你们还是听听吧让我‘水’个两毛钱的。

我还得去改前面的标红呢…… 简单来说接触式光刻就像你洗照片一样光掩模版需要直接、紧密地接触涂有光刻胶的硅片表面。

除了刻光掩模版对准是最大难点全靠技术员在显微镜下手工微调一点点挪动掩模和硅片的位置精度和效率都极低还容易损伤昂贵的掩模。

想象一下你要在一张特别特别小的邮票上用最细的笔画一幅极其复杂的电路图。

这邮票小到什么程度？跟你小指甲盖差不多！而且这‘笔’还不是普通的笔是光！ 接触式光刻干的就是这个活！ 怎么干呢？ 首先你得有个‘模子’专业点叫光掩模版（Mask）。

这模子就像一块透明的玻璃底片上面用极其精密的工艺比如手工绘图加照相蚀刻刻好了放大很多倍的电路图案。

然后你有一片处理好的‘小邮票’——就是涂了光刻胶的硅片（Wafer）。

光刻胶这东西很神奇被特定波长的光（比如紫外光）照到的地方化学性质会变可以被特定的药水洗掉。

关键步骤来了！ 你得把这个刻着大图案的玻璃模子严丝合缝、一点缝隙都没有地直接摁在那片涂了光刻胶的硅片上！就像盖章一样！ 然后打开光源就是前面兰英博士说的高压汞灯让光透过玻璃模子上透明的部分照到下面的光刻胶上。

被光照到的地方光刻胶就‘变软’了。

没被光照到的地方（被模子上不透明的铬层挡住了）就保持原样。

最后用药水一洗被光照过、‘变软’的光刻胶就被洗掉了露出了下面的硅。

没被光照的地方光刻胶还留着像一层保护膜。

这样玻璃模子上的电路图案就精确地‘印’到硅片上了！后面再经过刻蚀、离子注入等步骤就能做出晶体管和电路。

听起来好像挺简单？ 呸！ 最大的难点就在这个‘摁’字上！ 想想看要把两块比纸还薄、比镜子还平的玻璃和硅片完全贴合在一起中间不能有一丁点缝隙！这缝隙要是比头发丝还粗（几微米）那印出来的图案就糊了！重影了！电路就废了！ 所以这个‘摁’的动作或者说对准和贴合的过程是整个接触式光刻里最难、最精细、最要命的环节！ 嗯是的你看我用这么多形容词来重点标注就知道接触式光刻有多磨人了…… 诶还没完……更糟心的是硅片和玻璃模子还会热胀冷缩！温度稍微变一点它们的大小就跟着变一点点！ 这一点点对微米级的精度来说就是天差地别！可能刚才还对得准准的温度一变又歪了！ 现在你明白了吧？！为什么翁师傅那双‘鬼手’这么重要！这么金贵！ 他简直就是为这活儿量身定做的！ 吼吼吼！ 这就叫老匠人与新工艺之间的碰撞！ 什么叫我们的文明源远流长？这就是！ 想想翁师傅的手艺！他能在坚硬的合金钢上用手工磨出Ra0.1μm的镜面光洁度！他能用自制的古怪刀头在米粒大小的齿轮上雕出分毫不差的齿形！ 他的手稳到什么程度？稳到能在头发丝上刻字！ 稳到能感知金属最细微的‘脾气’！ 稳到能无视温度变化带来的细微影响！ 这才叫大宝贝！ 这才是国之工匠！ …… 最后这几句江夏是吼出来的。

声音大到兰英博士都忍不住把话筒举远了点。

得益于邮电部在话筒上工艺的改进“国之工匠”这四个字更是像颗小石子投入平静的湖面清晰地传遍了整个实验区域被周围协助工作的、其他厂子来的技术人员听了个真真切切。

“嘶……这是谁啊？把这种名头都说了出来也不怕风大闪了牙？”一个穿着不同厂标工装的中年技术员忍不住低声嘀咕。

目光在举着话筒的兰英博士和角落里那个看起来貌不惊人、甚至有些佝偻的翁师傅之间来回扫视。

“这年轻人谁啊？哪家单位的？口气比力气还大？”另一个声音带着明显的不屑“这老师傅手艺这么厉害的话咋从未耳闻过？‘国之工匠’这名头……啧啧也不怕风大闪了舌头？这帽子是随便扣的？” “就是兰工这边实验压力这么大怎么还有闲人在这儿喊口号？” 有人小声附和语气透着不满。

他们这些从各个协作厂抽调来的骨干正为实验进度焦头烂额听到江夏这石破天惊的一嗓子只觉得刺耳又突兀。

他们不认识江夏只觉得这个突然冒了个声出来嗓门大得离谱说话也狂得没边。

这些压低的议论声如同细小的涟漪在实验室沉闷的空气里扩散。

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